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成膜材料

代表的な成膜材料

電極やミラーに使用する金属材料、光学機能膜に使用する誘電体材料をご紹介します。

成膜材料(金属)

  蒸着 スパッタ 電極 ミラー(反射膜)
亜鉛(Zn)
アルミニウム(Al)
インジウム(In)
金(Au)
銀(Ag)
クロム(Cr)
ゲルマニウム(Ge)
コバルト(Co)
シリコン(Si)
スズ(Sn)
タングステン(W)
タンタル(Ta)
チタン(Ti)
鉄(Fe)
銅(Cu)
ニオブ(Nb)
ニッケル(Ni)
バナジウム(V)
パラジウム(Pd)
プラチナ(Pt)
モリブデン(Mo)
ルテニウム(Ru)
AlNd
APC-TR
MoNb
  • 上記にない材料についても豊富な実績とノウハウがあります。ぜひご相談ください。

成膜材料(誘電体:光学機能膜)

  蒸着 スパッタ
Al2O3
Nb2O5
SiO2
Ta2O5
TiO2
  • 上記にない材料についても豊富な実績とノウハウがあります。ぜひご相談ください。

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