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組成分析

試料表面を分析する技術とサービスのご紹介

特長

エネルギー分散型X線分析装置:EDX

真空中に置いた試料表面に電子線を照射したときに試料から発生する特性X線を検出することで、試料の定性・定量分析や構成元素のマッピングを行います。

X線光電子分光分析装置:XPS(ESCA)

超高真空中に置いた試料表面にX線を照射したときに試料から発生する光電子を検出することで、試料表面の定性・定量分析を行います。
また、測定時にイオンエッチングと組み合わせることで、深さ方向の分析を行います。

測定サービス

エネルギー分散型X線分析装置:EDX

エネルギー分散型X線分析装置(Energy Dispersive X-ray Fluorescence Spectrometer:EDX)は、試料表面に電子線を照射することで放射されるX線を検出し、試料の構成元素を分析することができる装置です。主に電子顕微鏡と組み合わせて使用しますが、当社では電界放出形走査電子顕微鏡(FE-SEM)に搭載しています。

サンプルサイズ 38mmφ・厚さ12mm以内
測定例

膜付基板の評価

Ni、Mgの成膜品であることがわかります。

料金 / 1測定 ¥10,000~(税抜)

X線光電子分光分析装置:XPS(ESCA)

X線光電子分光分析装置(X-ray Photoelectron Spectroscopy:XPS)は、X線を試料表面に照射した際に試料から発生する光電子のエネルギーおよび強度分布を測定し、試料の組成を分析する装置です。
光電子とは、一般に、電子の結合エネルギー以上のエネルギーを持つ電磁波(X線など)を照射したときに生成する電子のことをいいます。この光電子が持つエネルギーは、物質や分子内の結合状態により異なるため、元素分析や化学状態分析を行うことが可能です。このため、XPSはしばしばESCA(Electron Spectroscopy for Chemical Analysis)と呼ばれます。試料の極表面から発生した光電子のみが検出されることから、XPSでは数nmの試料表面を分析することができます。

サンプルサイズ 約10mm×10mm、厚さ2mm以内
測定領域 約6mmφ
測定例

オーバーコート表面処理前後の表面比較

表面処理前後の比較から表面処理後ではFが検出されていません。

料金 / 1測定
  • 表面組成:¥15,000~(税抜)
  • 深さ方向測定:¥50,000~(税抜)

お電話でのお問い合わせも
受け付けております03-3759-9325(代表 平日9:00~17:00)

関連サービス

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