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FLAT ITO膜

表面がなめらかな透明導電膜

凹凸のない透明導電膜が必要な有機EL。
FLAT ITO膜なら平滑にするための研磨が不要。

FLAT ITO膜

特長・強み

  • ポイント研磨しなくてもFLATな表面を実現
  • ポイントなめらかで均質な構造。パターンがきれいに仕上がる
  • ポイント低抵抗で低応力。優れた特性

用途例

携帯電話やカーナビゲーションなどのディスプレイ

携帯電話やカーナビゲーションなどのディスプレイ

携帯電話やカーナビゲーションなどのディスプレイに使用されています。

仕様・データ

優れたパターニング性と抵抗値

ITO膜のドメイン構造が均質なので、きれいなパターニングエッジに仕上がります。また、通常のITO膜と同様に低抵抗を実現しており、膜応力が小さいため、基板へのストレスもありません。
また、研磨同様の平坦性を実現し、成膜後の研磨が不要になったことにより、一つの工程がなくなります。また、研磨剤の残渣やキズに対しての懸念がなくなしました。

ITO膜特性比較

物質 通常ITO膜 FLAT ITO膜
抵抗値(Ω / sq) 9.76 8.98
膜厚(nm) 154 155
比抵抗(μΩ・cm) 150.6 139.37
透過率(%) 89.2 88.9
残留応力(MPa) -45.4±1.6 -7.5±2.6

ITO膜表面比較

物質 通常ITO膜 FLAT ITO膜
表面粗さ 2.613nm 0.9427nm
最大粗さ 24.94nm 9.569nm
  • 上記数値は代表値であり、保証値ではありません。
  通常ITO FLAT ITO膜
SEM×5万倍
AFM 5μm□

通常ITOと比べ、表面が非常に滑らかであることがわかります。

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