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静電容量式タッチパネル用 金属電極膜

微細な配線に適した金属膜

タッチパネルの電極に微細な金属配線を形成。加工しやすく電気特性を追求した金属膜を提供します。

静電容量式タッチパネル用 金属電極膜

特長・強み

  • ポイントフォトリソグラフィによる微細加工に最適化
  • ポイント電気特性、信頼性などを考慮した電極材料を提案
現状工程フローは、下層ITO成膜、メタル電極成膜、メタル電極パターン、下層ITOパターン、絶縁膜形成、上層ITO成膜、上ITOパターン、保護膜形成の順になります。フォト数削減フローの工程は、下層ITO成膜、下層ITOパターン、絶縁膜形成、メタル電極成膜、メタル電極パターン、保護膜形成の順になります。

用途例

カーナビゲーションやPDA、タブレットPC、携帯音楽プレーヤーなどのモバイル機器

カーナビゲーションやPDA、タブレットPC、携帯音楽プレーヤーなどのモバイル機器

カーナビゲーションやPDA、タブレットPC、携帯音楽プレーヤーなどのモバイル機器などさまざまな用途に使われています。

仕様・データ

豊富なメタル膜のバリエーション

低比抵抗、エッチング性、信頼性を考慮し、Ag系、Al系の材料を推奨しております。

Ag系

最も信頼性の高いと思われるAPC-TR品を推奨しております。

Al系

信頼性と比抵抗を考慮し、Nd(1wt%)ドープ品を選択。さらにITO膜とのコンタクト考慮、および表面耐アルカリ性向上のため、他物質でのサンドイッチ構造を推奨。物質としては、エッチング性、環境性、信頼性を考慮し、MAM品を推奨しております。

豊富なメタル膜のバリエーション

それぞれの詳細な説明はこちらをご覧ください。

物質 薄膜の比抵抗(μΩ・cm) コスト ガラス密着性 ウエットエッチング性
Cr 20
Mo 13
Al 4
Ta 180 × ×
Cu 2 ×
Ti 70
Ni 16 ×
Mo合金 18程度
Al合金 7程度
Ag合金 3.5程度 ×

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