大型基板への成膜特集
概要
製品サイズの大型化や低コスト化などを目的にシート状の大きな基板への成膜コーティングが増加しています。ジオマテックなら大きな基板でも、小ロット試作から大量生産まで柔軟に対応可能です。大型基板への薄膜コーティング事例をご紹介します。
代表的な事例
液晶パネル
スマートフォンやタブレットなど、映像体験を通じて情報を伝達。ジオマテックは第6世代（1500mm × 1800mm）までの大型基板への薄膜コーティングが可能です。また、大型インライン装置を保有し、装置への基板設置は高精度ロボットアームが対応。低コスト化を実現しています。
カバーガラス
車載ディスプレイ機器を保護するカバーガラス。大画面化・曲面化に対応することで、新世代のコックピットデザインの実現に貢献します。ガラスの調達から曲げ、薄膜加工まで、ワンストップで提供します。
次世代太陽電池
ペロブスカイト太陽電池（PSC）、色素増感太陽電池（DSSC）、有機薄膜太陽電池（OPV）など次世代のエネルギーが注目されています。大型の基板で薄膜形成加工することで低コスト化に貢献します。板厚0.1mmtの薄型基板への成膜実績もあります。
水電解装置
再生可能エネルギーを利用した水電解による水素製造。CO2排出量を石炭や天然ガスなどの化石燃料由来の水素に比べて、大幅に低減が可能です。大型基板でも貴金属を含む金属膜を形成可能です。
テスト・評価基板
露光装置の露光確認、ダイシング装置の切断確認などのテストや評価用の薄膜付きダミー基板。
電車運転席窓
着雪を防ぎながら、氷柱の衝突でも割れない運転席窓。降雪地帯を運行する車両の運転中視界を確保します。
天体望遠鏡反射鏡
天文台などに設置されている大型の天体望遠鏡。より多くの光を集め、遠くの暗い星を見るために必要な大きな反射鏡。
薄膜加工
薄膜コーティングサービス
シート状の小さな基板から大きな基板でも小ロットから大量生産まで柔軟に対応可能。大型基板でも連続で何層も薄膜を積み重ねるチャンバー径3000㎜の大型成膜装置も保有しています。また、単層や膜厚が薄く少ない複層に対応可能な大型インライン装置。大型インライン装置に付随した基板設置を自動化する高精度ロボットアームも保有。低コスト化を実現します。
- 最大：1880mm × 1500mm
- 膜厚：～数µm
- 基材の材質：ガラス、セラミック、金属、樹脂、箔、金属繊維など
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大型インラインスパッタ装置 -
高精度ロボットアーム
上記以外にも薄膜コーティングに関するご相談ごとなど御座いましたらお気軽にお問合せください。
