多種多様な薄膜製造装置

100台以上の装置で、多種多様な薄膜の製造ニーズに対応

1953年の創業以来、真空成膜技術を磨き続けてきたジオマテックは、大小100台以上の薄膜製造装置(真空成膜装置)を駆使し、取り扱い案件数は、年間20,000件以上。お客さまの目的や求める性能などに応じて、長年培った技術と知見を活かしながら、さまざまな装置を使い分けています。

代表的な装置の機構

ジオマテックが取り扱う薄膜製造装置(成膜装置)には、さまざまな種類があり、基板材料の形状、数量などで使い分けています。ここでは代表的な5つの方式を紹介します。

  • バッチ式

  • インライン式

  • ロールトゥロール式

  • マルチチャンバー式

  • 円筒内面式

バッチ式(カルーセル型など)

小さなもの、大きなもの、試作も大量生産も。多種多様な薄膜に対応

  • タンク状の装置内で、ドラムを回転させるなどして薄膜形成(成膜)を行います
  • 薄膜形成の条件(成膜条件)や基板材料の固定枠(治具)の形状などを調整しやすいため、試作品の加工に適しています
  • 複数の基板材料をセットできる大量生産に適した大型のバッチ式装置も多数保有
  • ジオマテックの独自技術で、曲面状、半球状などの特殊形状にも対応
さまざまな基板形状少量〜多量スパッタリング法真空蒸着法
ずらりと並んだ大型3,000Φのバッチ式装置。多数の基板材料を同時にセットすることができ、大量生産にも対応
  • 3,000Φの装置をクリーンルーム内から見た様子
  • 小型品や試作品に適した小型の装置も多数保有。新旧さまざまな装置が並ぶ様子はまるで博物館のよう

インライン式

生産性に優れ、大量の基板材料に確かな精度で次々と薄膜形成できる

  • 基板材料を搬送装置に載せて、次から次へと流れるように薄膜形成(成膜)することができます
  • 板状の基板材料の単層や数層のシンプルな膜構成の大量生産に最適
  • 生産性を重視したラインでは、基板材料の固定枠(治具)への取り付け、取り外しも高精度なロボットアームでさらに自動化
板状・シート状の基板材料多量スパッタリング法
大面積・大量生産に対応する、日本国内最大級のインライン式スパッタリング装置
  • インライン式は、基板のセット、チャンバー内の真空化、薄膜形成、基板の取り外しなど製造プロセスの自動化領域が多い
  • 高精度ロボットアームが、デリケートな基板材料を次々と治具にはめて、成膜装置の搬送装置に載せていく様子

ロールトゥロール式

フレキシブルで薄いフィルムを、ロール状に大量生産可能

  • ロール状に巻いた材料に成膜でき、樹脂フィルムや金属箔などの大量生産に適しています
  • 大量生産・大面積に適した1300mm幅や、試作・小面積に適した700mm幅の装置を複数保有
  • 最先端の装置・技術により、4.5μmの極薄フィルムにも対応可能
  • フィルムの厚さが50μmの場合は、7,000mの長尺に対応
ロール状の基板材料少量〜多量スパッタリング法
1300mmの広幅のフィルムロールを扱う装置は背が高く、1階と2階にフロアが分かれる(この写真は2階)
  • 1300mm広幅対応装置の奥行きは20mを超え、写真では全貌を伝えきれない(この写真は1階の操作パネル付近)
  • 薄膜形成が完了したフィルムを検査している様子

マルチチャンバー式

さまざまな構成で積層させた薄膜を、一度の工程で形成可能

  • 薄膜を形成(成膜)するための真空チャンバー(気密された空間)が複数ある
  • 各チャンバー間の基板材料の移動を、真空搬送ロボットで自動化
  • 複数のチャンバーに、それぞれ異なる薄膜材料をセットすることで、一度の工程でさまざまな薄膜を積層可能
板状・シート状の基板材料少量〜多量真空蒸着法
5つの大きなチャンバーを持つ真空蒸着装置は、写真に収まりきらない圧巻の大きさ

円筒内面式

世界でも珍しい長さ1,500mmまでの円筒内面への薄膜形成が可能

  • 円筒(パイプ)の内面の薄膜形成(成膜)技術
  • 内径φ4mmから、外径φ160mm、長さ1,500mmまで対応
  • 樹脂、ガラス、セラミックス、金属などの円筒内に、反射や加熱、濾過フィルターなどの機能を持った薄膜を形成可能
円筒状の基板材料の内面少量〜多量スパッタリング法
世界でも珍しい希少な円筒内面成膜装置を、大・中・小型の3種保有。写真は大型のもの

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