薄膜測定・分析機器

豊富な機器と技術者の経験・ノウハウが支える高品質

ジオマテックでは、高度な技術と安定した品質を実現するため、さまざまな測定・分析機器を取りそろえています。ジオマテックの開発力と高品質は、さまざまな機器を使いこなす技術者の経験・ノウハウ、日々の努力によって支えられています。

表面観察

原子間力顕微鏡:AFM

試料表面とカンチレバー先端の探針との間にかかる原子間力をレーザー光で検出し、原子間力が一定になるよう試料・探針の距離を制御しながら走査することで、試料表面の三次元形状を測定します。

電界放出形走査電子顕微鏡:FE-SEM

真空中に置いた試料表面に電子線を照射したときに試料から発生する二次電子・反射電子を検出することで、試料表面の形態・微細構造観察を行います。

走査型白色干渉顕微鏡

光学顕微鏡と二光束干渉対物レンズ・CCDカメラを組み合わせ、干渉像を垂直走査することで、試料表面の三次元形状を計測します。

組成分析

エネルギー分散型X線分析装置:EDX

真空中に置いた試料表面に電子線を照射したときに試料から発生する特性X線を検出することで、試料の定性・定量分析や構成元素のマッピングを行います。

X線光電子分光分析装置:XPS(ESCA)

超高真空中に置いた試料表面にX線を照射したときに試料から発生する光電子を検出することで、試料表面の定性・定量分析を行います。
また、測定時にイオンエッチングと組み合わせることで、深さ方向の分析を行います。

X線回折

X線回折装置

試料にX線を照射したときに生じる回折X線を測定して、物質を同定したり、構造を評価します。また、残留応力の測定を行います。

押し込み硬さ試験

マイクロビッカース硬度計

ビッカース硬度を測定します。低荷重での測定が可能です。

ナノインデンター:超微小硬さ試験機

サブミクロンオーダーの膜の硬さおよびヤング率を測定します。

ロックウェル硬度計

母材等のロックウェル硬さを測定します。

その他の測定・分析

ボールオンディスク摩擦摩耗試験機

膜面と各種ボールを接触させて摩擦係数を測定します。

ボール研磨式簡易膜厚測定機(カロテスター)

ボールにより膜表面を研磨し、できたクレーターの測長により膜厚を求めます。

蛍光X線分析装置:XRF

膜付き基板にX線を照射したときに発生する蛍光X線の強度を測定し、膜厚を非接触・非破壊で測定します。
また、蛍光X線のエネルギーを測定することで、膜の組成や有害物質の含有量(十数~数十ppmオーダー)を調べます。

分光エリプソメーター

試料表面で光が反射するときの偏光状態の変化を測定することにより、薄膜の屈折率・消衰係数・膜厚をフィッティング解析します。

比抵抗/ホール係数測定システム

試料に磁界を与えて電流を流したときに発生するホール効果を利用して、キャリア濃度・ホール移動度を求めます。

ヘーズメーター

ヘーズ(曇り度)・全光線透過率・拡散透過率・平行透過率・濁度(Turb)の測定をします。

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