薄膜測定・分析機器
【「薄膜測定サービス」（受託測定業務）終了のお知らせ】
この度、「薄膜測定サービス」（受託測定業務）を終了する運びとなりました。
新規のお客様によるご依頼の受付は、2021年6月30日（水）をもちまして終了いたしました。
長年にわたりご利用いただき誠にありがとうございました。
豊富な機器と技術者の経験・ノウハウが支える高品質
ジオマテックでは、高度な技術と安定した品質を実現するため、さまざまな測定・分析機器を取りそろえています。ジオマテックの開発力と高品質は、さまざまな機器を使いこなす技術者の経験・ノウハウ、日々の努力によって支えられています。
表面観察
原子間力顕微鏡：AFM
試料表面とカンチレバー先端の探針との間にかかる原子間力をレーザー光で検出し、原子間力が一定になるよう試料・探針の距離を制御しながら走査することで、試料表面の三次元形状を測定します。
電界放出形走査電子顕微鏡：FE-SEM
真空中に置いた試料表面に電子線を照射したときに試料から発生する二次電子・反射電子を検出することで、試料表面の形態・微細構造観察を行います。
走査型白色干渉顕微鏡
光学顕微鏡と二光束干渉対物レンズ・CCDカメラを組み合わせ、干渉像を垂直走査することで、試料表面の三次元形状を計測します。
組成分析
エネルギー分散型X線分析装置：EDX
真空中に置いた試料表面に電子線を照射したときに試料から発生する特性X線を検出することで、試料の定性・定量分析や構成元素のマッピングを行います。
X線光電子分光分析装置：XPS（ESCA）
超高真空中に置いた試料表面にX線を照射したときに試料から発生する光電子を検出することで、試料表面の定性・定量分析を行います。
また、測定時にイオンエッチングと組み合わせることで、深さ方向の分析を行います。
X線回折
X線回折装置
試料にX線を照射したときに生じる回折X線を測定して、物質を同定したり、構造を評価します。また、残留応力の測定を行います。
押し込み硬さ試験
マイクロビッカース硬度計
ビッカース硬度を測定します。低荷重での測定が可能です。
ナノインデンター：超微小硬さ試験機
サブミクロンオーダーの膜の硬さおよびヤング率を測定します。
その他の測定・分析
分光エリプソメーター
試料表面で光が反射するときの偏光状態の変化を測定することにより、薄膜の屈折率・消衰係数・膜厚をフィッティング解析します。
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