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表面観察

試料表面を観察する技術とサービスのご紹介

特長

原子間力顕微鏡:AFM

試料表面とカンチレバー先端の探針との間にかかる原子間力をレーザー光で検出し、原子間力が一定になるよう試料・探針の距離を制御しながら走査することで、試料表面の三次元形状を測定します。

電界放出形走査電子顕微鏡:FE-SEM

真空中に置いた試料表面に電子線を照射したときに試料から発生する二次電子・反射電子を検出することで、試料表面の形態・微細構造観察を行います。

走査型白色干渉顕微鏡

光学顕微鏡と二光束干渉対物レンズ・CCDカメラを組み合わせ、干渉像を垂直走査することで、試料表面の三次元形状を計測します。

測定サービス

原子間力顕微鏡:AFM

原子間力顕微鏡(Atomic Force Microscope:AFM)は、探針先端と試料表面との間にはたらく原子間力を利用し、試料表面の像を形成する装置です。カンチレバー(微小な板ばね)の先端にAFM探針を取り付け、この探針と試料表面を微小な力で接触させ、カンチレバーのたわみ量が一定になるように探針と試料間の距離(Z)をフィードバック制御しながら水平(X、Y)に走査することで、表面形状を画像化します。
表面粗さを測定できることから、ナノメートルレベルの形状・凹凸の確認などが可能です。

測定領域 3μm×3μm
サンプルサイズ 約30mm×30mm以内、厚さ10mm以内
測定例

透明導電膜の成膜条件による表面形状の比較

サンプルA
サンプルB

同じ透明導電膜であっても成膜条件によって表面形状が異なっているのがわかります。

料金 / 1測定 ¥15,000~(税抜)

電界放出形走査電子顕微鏡:FE-SEM

走査型電子顕微鏡(Scanning Electron Microscope:SEM)は、試料表面に電子ビームを照射したときに発生する二次電子や反射電子の強度を検出し、像を形成することで表面の形態観察を行うことができる装置です。
SEMで一般に用いられる電子銃は、電界放出型電子銃、ショットキー電子銃、熱電子銃が挙げられます。
当社で所有しているSEMは電界放出型(Field Emission:FE)電子銃を搭載しており、高分解能での観察が可能です。

サンプルサイズ 38mmφ×厚さ12mm以内
測定例

透明導電膜の成膜条件による表面形状の比較

サンプルA
サンプルB

同じ透明導電膜であっても成膜条件によって表面形状が異なっているのがわかります。

料金 / 1測定 ¥10,000~(税抜)

走査型白色干渉顕微鏡

走査型白色干渉顕微鏡は、光学顕微鏡と二光束干渉対物レンズ・CCDカメラを組み合わせて干渉像を垂直走査することにより、対象物の表面形状を三次元計測することができる装置です。

測定領域 460μm×354μm以内
サンプルサイズ 100mm×100mm×厚さ50mm以内
測定例

基板表面の研磨状態比較

サンプルA
サンプルB

サンプルBでは、表面にうねりが見られます。

料金 / 1測定 ¥10,000~(税抜)

お電話でのお問い合わせも
受け付けております03-3759-9325(代表 平日9:00~17:00)

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