薄膜測定サービス

※ 4/9~5/10まで薄膜測定サービスの受付を一時停止しております。
お客様には大変ご迷惑をお掛けいたしますが、何卒よろしくお願い申し上げます。

高性能・安定品質の製品を作り続けるために培った薄膜測定のノウハウを手軽

ジオマテックの開発力と安定した品質を支えるさまざまな測定・分析機器。それらを使いこなす技術者のノウハウを活かして、正確な測定結果を迅速に報告するサービスです。結果報告に限定することで低価格を実現しています。研究・開発・調査に、ぜひお役立てください。

サービスメニュー

表面観察

原子間力顕微鏡(AFM:Atomic Force Microscope)

メーカー:ブルカージャパン株式会社
型式:Innova
試料表面とカンチレバー先端の探針との間にかかる原子間力をレーザー光で検出し、原子間力が一定になるよう試料・探針の距離を制御しながら走査することで、試料表面の三次元形状を測定します。

電界放出型走査電子顕微鏡(FE-SEM:Field Emission Scanning Electron Microscope)

メーカー:株式会社日立ハイテクノロジーズ
型式:S-4300
真空中に置いた試料表面に電子線を照射したときに試料から発生する二次電子・反射電子を検出することで、試料表面の形態・微細構造観察を行います。

走査型白色干渉顕微鏡(CSI:Coherence Scanning Interferometry)

メーカー:(株)日立ハイテクノロジーズ
型式:R-5300GL-M100
光学顕微鏡と二光束干渉対物レンズ・CCDカメラを組み合わせ、干渉像を垂直走査することで、試料表面の三次元形状を計測します。

組成分析

X線光電子分光分析装置(XPS:X-ray Photoelectron Spectroscopy/ESCA:Electron Spectroscopy for Chemical Analysis)

メーカー:日本電子株式会社
型式:JPS-9030
超高真空中に置いた試料表面にX線を照射したときに試料から発生する光電子を検出することで、試料表面の定性・定量分析を行います。
また、測定時にイオンエッチングと組み合わせることで、深さ方向の分析を行います。

エネルギー分散型X線分析装置(EDX:Energy Dispersive X-ray Spectrometer)

メーカー:株式会社堀場製作所
型式:EMAX ENERGY EX-220
真空中に置いた試料表面に電子線を照射したときに試料から発生する特性X線を検出することで、試料の定性・定量分析や構成元素のマッピングを行います。

X線回折

X線回折装置(XRD:X-ray diffraction)

メーカー:株式会社リガク
型式:SmartLab
試料にX線を照射したときに生じる回折X線を測定して、物質を同定したり、構造を評価します。また、残留応力の測定を行います。

硬さ試験

超微小硬さ試験器/ナノインデンター(Nanoindenter)

メーカー:株式会社エリオニクス
型式:ENT-2100
サブミクロンオーダーの膜の硬さおよびヤング率を測定します。

価格表

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サービス内容 装置 料金/1測定
表面観察 原子間力顕微鏡:AFM ¥15,000~
電界放出形走査電子顕微鏡:FE-SEM ¥10,000~
走査型白色干渉顕微鏡:CSI ¥10,000~
組成分析 エネルギー分散型X線分析装置:EDX ¥10,000~
X線光電子分光分析装置:XPS(ESCA) 表面測定 ¥15,000~
深さ方向測定 ¥50,000~
X線回折 X線回折装置:XRD 回折図形測定 ¥10,000~
残留応力測定 ¥20,000~
押し込み硬さ試験 超微小硬さ試験機(ナノインデンター) 微小荷重による膜の硬さ測定 ¥10,000~

上記料金表には消費税は含まれておりません。

お申し込み・お問い合わせ

測定のみのサービスのため、低価格で迅速な測定結果報告が可能です。
高品質の製品を作り続けるために培われた、測定の技術力をぜひご利用ください。

本サービスは、日本国内を対象とさせていただいております。

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