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成膜とは?

成膜ってなに?

薄膜を形成することを「成膜」と呼んでいます。ガラス,樹脂,金属などの基板に成膜することで,電気を通したり,光をコントロールしたり,発熱するといった,もとの基板になかった機能をもたせることができます。さらに,さまざまな機能の薄膜を組み合わせて身近な製品に使われています。

代表的な成膜製品

スマートフォン・タブレットPC
有機EL照明
透明ヒーター
加飾・意匠コーティング

どうやって膜をつくるの?

当社は PVD (Physical Vapor Deposition) 法で成膜しています。PVD法の代表例である「真空蒸着法」と「スパッタリング法」について,ご紹介します。

お鍋の湯気のように膜を作る
真空蒸着法

基板 蒸気 成膜物質

水を入れたお鍋を火に掛けてしばらくすると沸騰してお鍋から湯気が出ます。その湯気に基板を近づけるとくもります。このようなイメージを,真空中で行って成膜するのが真空蒸着法です。

たたきつけて膜をくっつける
スパッタリング法

基板 アルゴンイオン 成膜物質

水たまりに石を投げると石は水たまりに落ち,勢いよく水しぶきが飛び跳ねて基板につきます。このようなイメージを真空中で行う成膜方法をスパッタリング法といいます。

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