太陽電池、5Gアンテナなど、フレキシブルデバイスの製造に
ロールtoロール (Roll to Roll) 成膜
フレキシブルで薄いフィルムを、ロール状に大量生産可能な、
ロールtoロール (Roll to Roll) 成膜
概要
樹脂フィルムや金属箔などの大量生産に適し、ロール状に巻いた材料に成膜できます。4µmの極薄の対応実績があります。お客さまの目的用途に応じた仕様決定など、開発品のための機能性薄膜設計コンサルも承ります。わたしたちが長年培った『透明導電膜・ITO膜』の技術と知見を、製品づくりにぜひご活用ください。
- Point1多様な成膜材料の豊富な経験実績
- Point2世界最高峰を自負するスパッタリング法によるITO膜形成技術
- Point3極薄フィルム (4µm)、大量生産・大面積から試作・小面積、豊富な実績
- Point4スリット加工、ラミネート、アニール処理など、成膜後の加工をワンストップで
特長・強み
Point1 お客さまのニーズにあわせ、多様な成膜材料を使った豊富な経験と成膜実績
金属、金属酸化物、誘電体など充実の成膜材料を常時200種類以上保有。長年培った技術とノウハウで、多種多様な材料を使いこなすとともに、必要な特性を得るために複数材料を多層構造にしたり、材料メーカーと共同で新たな材料を開発したりしながら、お客さまのさまざまなニーズにお応えします。
| 代表的な成膜材料 | ロール幅 | |
|---|---|---|
| 700mm | 1300mm | |
| ニッケル（Ni） |  |
- |
| 銅（Cu） | |
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| 銀（Ag） | |
- |
| ITO | |
|
| プラチナ（Pt） | |
- |
| 金（Au） | |
- |
上記以外の成膜材料は下記からご覧ください。
Point2 世界最高峰を自負するスパッタリング法による形成技術で、高性能な『透明導電膜・ITO膜』を提供
- 「透明度」「電気抵抗」「平坦度」「耐久性」「曲げ性」など、お客さまの目的に応じた最適なバランスをご提案します。
- お客さまの目的用途に応じた仕様決定など、開発品のための機能性薄膜設計コンサル（有償）も応じています。お気軽にご相談ください。
透明導電膜の特性値 (参考値)
| 種類 | 抵抗値 | 全光線透過率※2 |
|---|---|---|
| アモルファスITOフィルム※1 | 100Ω/sq | >77% |
| 40Ω/sq | >80% | |
| 30Ω/sq | >78% | |
| 金属酸化物積層フィルム※1 | 12Ω/sq | >80% |
※1PETフィルム
※2フィルムを含む全光線透過率
Point3 4µmの極薄フィルム、大量生産・大面積から試作・小面積にわたる多様な実績
- 大量生産・大面積に適した1300mm幅や、試作・小面積に適した700mm幅の装置を複数保有し、お客様の多様なニーズにお応えします。
- 最先端の装置・技術により、4µmの極薄フィルムへの対応実績を有します。フィルムの厚さが50µmの場合は、7,000mの長尺に対応可能です。
基材の種類
| 基材用フィルム | PET（ポリエチレンテレフタラート）、COP（シクロオレフィンポリマー）、PEN（ポリエチレンナフタレート）、CPI（透明ポリイミド）、PI（ポリイミドフィルム）、PC（ポリカーボネート) など |
|---|
上記以外も、お気軽にご相談ください。
Point4 スリット加工、ラミネート加工、アニール処理など、成膜後の加工処理に対応
活用事例
フレキシブル太陽電池用途（ペロブスカイト太陽電池など）
- 高透過、低抵抗のITOフィルム（透明電極）
- 要望に応じて特性カスタム可能
フイルムコンデンサ用途
- 極薄フィルムへの金属膜コーティング
- フィルム両面へのコーティングが可能
アンテナ用途
- フィルム両面への黒化処理可能
- めっきやパターニングもワンストップ対応可能
エネルギー分野への触媒・電極用途
- ステンレス（SUS）、アルミなどの金属箔へコーティング可能
- フィルム以外（不織布、紙など）の製造ライン投入テスト
仕様
基板材料のサイズ
以下のサイズに対応していますが、薄膜の内容によって最大サイズが変わることがあります。
また、装置の稼働状況によって納期が変動します。まずはご相談ください。
| フィルムロール状 （スパッタリング方式） |
巻き取り幅最大 1,300 mm 最長 7,000 m（フィルムの厚みによって長さが変わります） |
|---|---|
| 厚み | 4µｍ ～ 250µｍ |
| 基板材料の種類 | PET（ポリエチレンテレフタラート）、COP（シクロオレフィンポリマー）、PEN（ポリエチレンナフタレート）、CPI（透明ポリイミド）、PI（ポリイミドフィルム）、PC（ポリカーボネート）など |
上記以外も、お気軽にご相談ください。
成膜材料
| 成膜材料 | ロール幅 | |
|---|---|---|
| 700mm | 1300mm | |
| 炭素（C） | |
- |
| アルミニウム（Al） | |
- |
| シリコン（Si） | |
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| シリカ（SiO2） | |
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| チタン（Ti） | |
- |
| クロム（Cr） | |
- |
| 鉄（Fe） | |
- |
| ニッケル（Ni） | |
- |
| ニッケル合金※ | |
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| 銅（Cu） | |
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| 銅合金※ | |
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| GZO | |
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| 酸化ニオブ（Nb2O5） | |
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| モリブデン（Mo） | |
- |
| モリブデン合金※ | |
- |
| ルテニウム（Ru） | |
- |
| 銀（Ag） | |
- |
| 銀合金※ | |
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| ITO | |
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| タングステン（W） | |
- |
| プラチナ（Pt） | |
- |
| 金（Au） | |
- |
※合金は、別途お問い合わせください。
豊富な材料知識を活かし、ロールtoロール (Roll to Roll) 成膜以外にも、お客さまのより良い製品づくりに最適な材料や成膜方法の対応が可能です。
多種多様な薄膜の製造ニーズに応えられる79台の装置を有します。お気軽にご相談ください。
加工
| 成膜後の後処理・加工 | スリット加工（切断）、ラミネート加工（貼り合わせ）、アニール処理（焼成）、ほか |
|---|
上記以外も、お気軽にご相談ください。
お見積り希望など、お気軽に下記よりご連絡ください。
2日営業日以内にご連絡差し上げるよう心掛けております（夏季休業、年末年始休業の期間を除く）。
