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生産設備

ジオマテックの生産設備は汎用性の高さを特長としています。
試作品に適した小型の装置から量産品を効率よく生産できる大型の装置まで、100台以上の成膜装置を保有しています。
また、洗浄装置や薄膜パターン形成加工装置など必要に応じて生産設備に投資してきました。
その概要をご紹介します。

工程

薄膜を形成した製品を皆様にお届けするまでの工程をご紹介します。

工程

耐久性評価設備の例

耐久性評価設備の例

成膜装置

当社が保有する成膜装置の方式と成膜方法

成膜装置 成膜法 特長
バッチ式 真空蒸着・スパッタリング 成膜条件を調整しやすいことから試作品の加工に適しています。量産品を加工するための大型の装置も多数保有しています。
インライン式 スパッタリング 大量生産に適した装置です。
ロール to ロール スパッタリング ロール状に巻いた材料に成膜するための装置。樹脂フィルムや金属箔などの大量生産に適しています。
連続式真空蒸着 真空蒸着 材料を出し入れするためのチャンバーと成膜するチャンバーを分け、連続して加工することができる装置。(光学機能膜の量産に適しています)
マルチチャンバー 真空蒸着・スパッタリング 成膜するためのチャンバーが複数あり、さまざまな構成の積層膜を加工することができます。

※ チャンバー(chamber):部屋、容器などの意味。真空にしたチャンバーの内部で成膜をおこないます。

洗浄装置

洗浄液と超音波を使った洗浄装置、高品質な薄膜製品を生産するための重要な技術です。加工内容や基板材料の材質・状態に応じて最適な条件で洗浄しています。

洗浄工程

薄膜パターン形成加工設備(フォトリソグラフィー)

薄膜パターンは、さまざまなデバイスに応用されます。成膜技術とパターン形成技術を組み合わせることで、これまでウエットエッチングでは難しいとされていた構成の積層膜、微細なパターン、シャープなパターンエッジを実現しました。

円筒内面成膜

円筒の内面に成膜する技術・装置を開発しました。

クリーンルーム

量産工場の製造ラインには,クラス1000(Fed.Std.209D)のクリーンルームを導入しています。
パーティクルの少ない環境で製造することにより高品質な製品を提供します。

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