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フィルム・ロール成膜:Roll to Roll

コンパクトかつ高性能。大量生産に最適な成膜装置

ジオマテックでは、長年培った蒸着技術やスパッタリング技術により、タッチパネル、 色素増感太陽電池製造などに有用な最新鋭のフレキシブル・フィルム成膜装置(ロールtoロール成膜装置)を導入、生産体制を構築しています。

試作機では、巻き取り幅が最大720mm、巻き取り径が最大300mm(コアを含んだ巻き径)とフィルム成膜の大量生産が可能になりました。( 量産機では、巻取り幅が最大1320mmまで投入が可能です) これにより、フィルム式静電容量型タッチパネル用薄膜加工等の量産が可能です。

フィルム・ロール成膜:Roll to Roll

特長・強み

  • ポイントフィルム成膜の大量生産が可能
  • ポイント試作機では、巻き取り幅が最大720mm、巻き取り径が最大300mmまで投入可能
  • ポイント量産機では、巻取り幅が最大1320mmまで投入可能

用途例

フィルム式タッチパネル用電極の量産

フィルム式タッチパネル用電極の量産

ジオマテックでは、Roll to Roll成膜によるフィルム式静電容量型タッチパネル用薄膜の量産が可能です。

仕様・データ

仕様

装置仕様

巻き取り幅 720mm(最大)
巻き取り長さ 最大巻き径 / 300mm(コア含む)
巻き取りコア φ6”(内径)

主な成膜装置

成膜方法 スパッタリング方式成膜
成膜温度 室温~180℃
フィルム搬出 正転・逆転可能
基材速度 0.2~10m / min
基材厚さ 4.5μm~

成膜対応例

  • 透明導電膜

    ITO、IZO、GZO

  • バリア膜、電極膜

    SiO2、SiON、Nb2O5、Cr、Cr2O3、Sn、Al、ACX(アルミ合金)、APC-TR、Mo-Nb

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