イベント参加レポート:第39回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム

イベント概要

イベント名 第39回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム(電気学会)
会期 2022年11月14日~17日
報告内容

ひずみセンサ素子、パターニング、フィルム温度センサ、くし形電極 などを紹介

2年ぶりに現地で開催されたシンポジウムへ参加しました。展示ブースでは、ジオマテックの薄膜形成技術の研究開発の成果である、ジオマテックのセンサ素子ソリューションを紹介しました。

主な展示内容

ひずみセンサ素子

従来センシングが困難と考えられていた場所や製品などへ用途の可能性を拓く、薄膜による「ひずみセンサ素子」

ひずみセンサ素子
フィルム温度センサ

フィルム基材に薄膜で熱電対を形成した、厚さ約10μmの極薄熱電対素子「フィルム温度センサ」

フィルム温度センサ
くし形電極

電気化学測定などに最適な櫛歯電極(くし形電極)

くし形電極
パターニング

ガラス、Siウエハ、各種フィルムなどの基板上へ金属膜等のパターニング

パターニング

会場の様子

「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム会場の様子1
「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム会場の様子2
「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム会場の様子3
「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム会場の様子4
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