イベント参加レポート:第39回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム
イベント概要
イベント名 | 第39回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム(電気学会) |
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会期 | 2022年11月14日~17日 |
報告内容 |
ひずみセンサ素子、パターニング、フィルム温度センサ、くし形電極 などを紹介2年ぶりに現地で開催されたシンポジウムへ参加しました。展示ブースでは、ジオマテックの薄膜形成技術の研究開発の成果である、ジオマテックのセンサ素子ソリューションを紹介しました。 主な展示内容ひずみセンサ素子従来センシングが困難と考えられていた場所や製品などへ用途の可能性を拓く、薄膜による「ひずみセンサ素子」 ![]() フィルム温度センサフィルム基材に薄膜で熱電対を形成した、厚さ約10μmの極薄熱電対素子「フィルム温度センサ」 ![]() くし形電極電気化学測定などに最適な櫛歯電極(くし形電極) ![]() パターニングガラス、Siウエハ、各種フィルムなどの基板上へ金属膜等のパターニング ![]() 会場の様子![]() |
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