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レアメタルを用いない透明導電膜
特長
レアメタルを用いない透明導電膜
材料資源が豊富なZnO（酸化亜鉛）透明導電膜は、透明性や表面平坦性で優れた特性を有しているなどの理由から、レアメタルを使用するITO透明導電膜の代替材料として注目を集めております。
当社では、ZnOにGaをドープしたGZO、AlをドープしたAZOなど、さまざまな透明導電膜を提供しており、フラットパネルディスプレイ用のほか、新たなアプリケーションへの展開が期待されています。
さまざまな透明導電膜の比較
ZnOは亜鉛（Zn）の資源が豊富であり、透明電極としての性能に優れているため、フラットパネルディスプレイ用ITO膜の代替材料として注目を集めています。
| 物質 | 密着性 （ガラス） |
耐薬品性 | 比抵抗（μΩcm） ※ガラス基板上 |
透過率 (膜厚150nm、波長550nm) |
備考 |
|---|---|---|---|---|---|
| ITO | ○ | ○ | 130-150 | 88 | Sn濃度調整可能 |
| IZO | ○ | △ | 500 | 85 | |
| AZO | ○ | △ | 800-8000 | 92 | 触媒性有り |
| GZO | ○ | △ | 500-3000 | 92 | |
| ATO | ○ | ◎ | 6000-10000 | 87 | 耐薬品性良好 |
主な使用用途
フラットパネルディスプレイ等の透明電極膜など
製品データ
透明性や表面平坦性ではITOよりも優れた特性
PET上に成膜したITOとGZOの分光特性
GZO膜の表面形状比較
技術データ
詳細な技術データにつきましては、下記リンク先から製品カタログをダウンロードしてご覧ください。
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