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レアメタルを用いない透明導電膜
希少資源の枯渇にそなえて開発
優れた光学特性をもつ酸化亜鉛系透明導電膜。
特長・強み
- ポイント低温で成膜しても光の吸収率が小さいため熱に弱い基板に有効
- ポイント還元性雰囲気にさらされてもシート抵抗と透過率の劣化がない
用途例
フラットパネルディスプレイなどの透明電極膜
フラットパネルディスプレイなどの透明電極膜に使用されています。
仕様・データ
さまざまな透明導電膜の比較
ZnOは亜鉛（Zn）の資源が豊富であり、透明電極としての性能に優れているため、フラットパネルディスプレイ用ITO膜の代替材料として注目を集めています。
| 物質 | 密着性 （ガラス） |
耐薬品性 | 比抵抗（μΩcm） ※ガラス基板上 |
透過率 (膜厚150nm、波長550nm) |
備考 |
|---|---|---|---|---|---|
| ITO | ○ | ○ | 130-150 | 88 | Sn濃度調整可能 |
| IZO | ○ | △ | 500 | 85 | |
| AZO | ○ | △ | 800-8000 | 92 | 触媒性有り |
| GZO | ○ | △ | 500-3000 | 92 | |
| ATO | ○ | ◎ | 6000-10000 | 87 | 耐薬品性良好 |
透明性や表面平坦性ではITOよりも優れた特性
PET上に成膜したITOとGZOの分光特性
GZO膜の表面形状比較
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