微細電極パターン形成

金属電極膜

用途・基板・電気特性に応じて、材料・構成を最適化

概要

金属膜をつくり続けて半世紀以上。さまざまな金属を扱ってきた当社のノウハウを活用ください。

特長・強み

Point1 金属材料の種類と特性、積層膜の構成など豊富なノウハウ

ジオマテックではさまざまな金属物質材料を所有。たとえば、ディスプレイの表示品質向上のために透明導電膜と金属膜を組み合わせた透明電極など、当社のノウハウを活かした製品を提供しています。

Point2 薄膜パターン形成加工と組み合わせてカスタマイズ

仕様

金属膜一覧

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物質	比抵抗 [ µΩ・cm ]	コスト	ガラスとの密着性	ウエットエッチング性
Al	4	○	△	○
Al	説明	-
Au	4	×	×	○
Au	説明	比抵抗が低く、耐食性も高い。赤外域で高い反射率を示すことからミラーとしても使用される。ガラスとの密着性が悪く、中間層（密着層）が必要。
Cr	20	○	△	○
Cr	説明	信頼性、加工性に優れていて使いやすい。ただし、六価クロムが環境規制対象であることから問題視されることもある。また、低抵抗が必要な用途には適さない。
Cu	2	○	×	○
Cu	説明	比抵抗が低く、電気特性的には良好ではあるが、ガラスとの密着性が悪く、酸化しやすいことから耐熱変化が大きいため扱いにくい。積層または合金として使われることが多い。
Mo	13	△	○	○
Mo	説明	低抵抗で加工性も良い。ただし、耐水性が悪く、信頼性に問題あり。
Ni	16	○	×	△
Ni	説明	磁性体なのでスパッタリング法には向かないが、適切に制御することで成膜可能。ただし、ガラスとの密着性が悪く、単層で使用することはない。リン酸、硝酸の混合液でエッチングが可能。Al合金およびAg合金の保護膜として有効。
Ta	180	△	×	×
Ta	説明	信頼性に優れ、安定した物質。ガラスとの密着性が悪くエッチング性にも問題がある。一般的にはβ-Taを使用するが、低抵抗の膜が必要な場合はα-Taを使用する。比抵抗 β-Ta: 180 µΩ·cm α-Ta: 25 µΩ·cm
Ti	70	○	○	△
Ti	説明	-
Ag合金	3.5程度	×	△	△
Ag合金	説明	反射率が高く低抵抗で、反射電極膜として高い性能が必要な用途に有効。
Al合金	7程度	○	○	○
Al合金	説明	資源量が多く低抵抗。ただし、耐アルカリ性が低いことと、ITO膜との界面でガルバニック腐食を起こして劣化するなどの問題がある。
Mo合金	18程度	△	○	○
Mo合金	説明	耐熱性が高く腐食にも強い。

活用事例

医療用バイオセンサーチップ

糖尿病患者のための血糖値自己測定器。その使い捨てのバイオセンサーチップのなかにはブドウ糖に反応する酵素と電極が入っています。ジオマテックの『金属電極膜』は在宅医療に貢献します。

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お取引の主な流れ

お客さまがお持ちの基板材料への薄膜形成をご依頼いたただく場合

お客さまがお持ちの基板材料への薄膜形成（薄膜コーティング）をご依頼いただく場合の流れの例です。
1点ものの試作から大量生産まで、高品質・高性能な薄膜形成は、ジオマテックにお任せください。

Step1お問い合わせ

当社の製品・ソリューションの詳細に関するお問い合わせはもちろん、お客さまの目的やアイディア、ご希望の注文数や仕様、納期や予算、お届け先など、まずはお気軽にお問い合わせください。
- お問い合わせ
- よくあるご質問
Step2ヒアリング・技術打ち合わせ

お客さまのご要望の詳細をお伺いしたうえで、お客さまの目的の達成に向けた最適なプランをご提案。ジオマテックの技術者からの提案はもちろん、必要に応じてさまざまなメーカーと協業し、お客さまにご満足いただける製品づくりをサポートします。
Step3お見積もり

ヒアリング・技術打ち合わせで決定した仕様に基づき、お見積もりさせていただきます。
なお、お客さまからお伺いした製品の用途、お客さまの個人情報などの秘密情報につきましては、情報セキュリティに配慮したうえで厳重に管理いたします。

情報セキュリティ方針
Step4試作品・サンプル作製

必要に応じて試作品・サンプルを作製いたします。
なお、将来的に量産を見据えている場合、試作時も量産時の装置を使用して加工できるので、量産移行後もスムーズに試作時と同様の製品特性を得ることができます。
Step5薄膜形成（薄膜コーティング）

お客さまからお預かりした大切な製品（基板材料）への薄膜形成を、クラス100～1000（Fed.Std.209D）のクリーンルーム内で、高品質かつ安定的に生産・加工します。

世界に誇る工場・設備
Step6品質検査・出荷準備

お客さまにご提供する全ての製品に対し品質検査を行い、厳重に梱包のうえ出荷します。
ジオマテックは、QMS（ISO9001：品質マネジメントシステム）を取得しており、高品質な製品の安定供給の維持に努めております。
- 認証情報
- 薄膜測定・分析機器
Step7納品

お客さまのご指定の日、場所及び方法でしっかりお届けします。

※上記の流れ以外の対応や、お客さまの拠点内でのインハウス対応などのご相談も柔軟に承ります。

薄膜形成に加え、基板材料の調達・加工などの前後工程もご依頼いただく場合

基板材料の調達・加工など、薄膜形成の前後工程もご依頼いただく場合の流れの例です。
光学設計や材料調達、製造、貼り合わせまでを、ジオマテックが一括でコントロールいたします。

Step1お問い合わせ

当社の製品・ソリューションの詳細に関するお問い合わせはもちろん、お客さまの目的やアイディア、ご希望の注文数や仕様、納期や予算、お届け先など、まずはお気軽にお問い合わせください。
- お問い合わせ
- よくあるご質問
Step2ヒアリング・技術打ち合わせ

お客さまのご要望の詳細をお伺いしたうえで、お客さまの目的の達成に向けた最適なプランをご提案。ジオマテックの技術者からの提案はもちろん、必要に応じてさまざまなメーカーと協業し、お客さまにご満足いただける製品づくりをサポートします。
Step3お見積もり

ヒアリング・技術打ち合わせで決定した仕様に基づき、お見積もりさせていただきます。
なお、お客さまからお伺いした製品の用途、お客さまの個人情報などの秘密情報につきましては、情報セキュリティに配慮したうえで厳重に管理いたします。

情報セキュリティ方針
Step4試作品・サンプル作製

必要に応じて試作品・サンプルを作製いたします。
なお、将来的に量産を見据えている場合、試作時も量産時の装置を使用して加工できるので、量産移行後もスムーズに試作時と同様の製品特性を得ることができます。
Step5基板材料の調達

ガラスやフィルムなどの基板材料を、ジオマテックが長年培った信頼のサプライチェーンより調達します。
Step6薄膜形成（薄膜コーティング）

基板材料へ防指紋（AF）加工など、お客さまの製品に必要な機能を実現するための高機能薄膜の形成を行います。
クラス100～1000（Fed.Std.209D）のクリーンルーム内で、高品質かつ安定的な生産が可能です。

世界に誇る工場・設備
Step7加工

ガラスの外形切断や薄膜パターニング、額縁印刷などの薄膜形成の後工程の作業も承ります。
Step8品質検査・出荷準備

お客さまにご提供する全ての製品に対し品質検査を行い、厳重に梱包のうえ出荷します。
ジオマテックは、QMS（ISO9001：品質マネジメントシステム）を取得しており、高品質な製品の安定供給の維持に努めております。
- 認証情報
- 薄膜測定・分析機器
Step9納品

お客さまのご指定の日、場所及び方法でしっかりお届けします。

※上記の流れ以外の対応や、お客さまの拠点内でのインハウス対応などのご相談も柔軟に承ります。