圧電デバイス向け
窒化アルミ薄膜
高配向/低応力を兼ね備えた圧電薄膜
概要
AlN（窒化アルミニウム）圧電薄膜は、電気信号と機械的振動を相互に変換できる機能性材料です。AlNは優れた圧電特性に加え、高い熱伝導性、化学的安定性、そして半導体プロセスとの高い親和性を持つことから、高周波通信デバイスやMEMS（微小電気機械システム）センサーの核となる材料として注目されています。当社のAlN圧電薄膜は、反応性スパッタリング技術により、優れた配向性と低応力を実現します。5G/6G通信、IoTセンサー、医療機器など、幅広い分野での応用が期待されています。
さらに当社では、JST の「産学共同（本格型）研究成果展開プログラム（JPMJTR231C）」における助成を受けAlNにスカンジウム（Sc）を添加したScAlN（スカンジウム添加窒化アルミニウム）圧電薄膜の開発も進めています。ScAlNはAlNと比較して圧電定数が約3～5倍向上し、より高感度なセンサーや高効率なデバイスの実現が可能です。次世代通信・センシング技術の要求に応える革新的材料として、開発をサポートいたします。
特長・強み
Point1 高いc軸配向性
AlN(0002)の高いc軸配向性、ロッキングカーブ半値幅2°程度
Point2 低応力
Siウエハ上に応力100MPa以下のAlN膜を形成可能
活用事例
高周波フィルター
- 用途例：5G/6G通信端末・基地局モジュール
- AlN薄膜の高音速・高Q値特性を活かした共振子。スマートフォンや通信機器向けに生産されている。
MEMSマイクロフォン（圧電マイク）
- 用途例：スマートフォン、ウェアラブル機器
- 防塵・防水性に優れたAlN薄膜アクチュエータを採用。高温プロセス適合性と信頼性から、PZT代替として急速に普及。
超音波センサー／PMUT
- 用途例：家電製品(距離検知)、医療・ヘルスケアデバイス
- AlN薄膜を用いた微小超音波送受信素子。非接触センシングや生体信号計測（脈波・呼吸）など、次世代ヘルスケア応用が進展中。
仕様
作製例
| 基板材質 | サファイア基板、Siウエハ |
|---|---|
| ワークサイズ | 最大8インチ |
| AlN(0002)ロッキングカーブ半値幅 | ≦2.5°※1 |
| AlNの膜応力 | ≦100MPa※1 |
※1 下地電極としてPtとMoで実績あり
お取引の主な流れ
お客さまがお持ちの基板材料への薄膜形成をご依頼いたただく場合
お客さまがお持ちの基板材料への薄膜形成（薄膜コーティング）をご依頼いただく場合の流れの例です。
1点ものの試作から大量生産まで、高品質・高性能な薄膜形成は、ジオマテックにお任せください。
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Step1お問い合わせ
当社の製品・ソリューションの詳細に関するお問い合わせはもちろん、お客さまの目的やアイディア、ご希望の注文数や仕様、納期や予算、お届け先など、まずはお気軽にお問い合わせください。
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Step2ヒアリング・技術打ち合わせ
お客さまのご要望の詳細をお伺いしたうえで、お客さまの目的の達成に向けた最適なプランをご提案。ジオマテックの技術者からの提案はもちろん、必要に応じてさまざまなメーカーと協業し、お客さまにご満足いただける製品づくりをサポートします。
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Step3お見積もり
ヒアリング・技術打ち合わせで決定した仕様に基づき、お見積もりさせていただきます。
なお、お客さまからお伺いした製品の用途、お客さまの個人情報などの秘密情報につきましては、情報セキュリティに配慮したうえで厳重に管理いたします。 -
Step4試作品・サンプル作製
必要に応じて試作品・サンプルを作製いたします。
なお、将来的に量産を見据えている場合、試作時も量産時の装置を使用して加工できるので、量産移行後もスムーズに試作時と同様の製品特性を得ることができます。 -
Step5薄膜形成（薄膜コーティング）
お客さまからお預かりした大切な製品（基板材料）への薄膜形成を、クラス100～1000（Fed.Std.209D）のクリーンルーム内で、高品質かつ安定的に生産・加工します。
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Step6品質検査・出荷準備
お客さまにご提供する全ての製品に対し品質検査を行い、厳重に梱包のうえ出荷します。
ジオマテックは、QMS（ISO9001：品質マネジメントシステム）を取得しており、高品質な製品の安定供給の維持に努めております。 -
Step7納品
お客さまのご指定の日、場所及び方法でしっかりお届けします。
※上記の流れ以外の対応や、お客さまの拠点内でのインハウス対応などのご相談も柔軟に承ります。
薄膜形成に加え、基板材料の調達・加工などの前後工程もご依頼いただく場合
基板材料の調達・加工など、薄膜形成の前後工程もご依頼いただく場合の流れの例です。
光学設計や材料調達、製造、貼り合わせまでを、ジオマテックが一括でコントロールいたします。
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Step1お問い合わせ
当社の製品・ソリューションの詳細に関するお問い合わせはもちろん、お客さまの目的やアイディア、ご希望の注文数や仕様、納期や予算、お届け先など、まずはお気軽にお問い合わせください。
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Step2ヒアリング・技術打ち合わせ
お客さまのご要望の詳細をお伺いしたうえで、お客さまの目的の達成に向けた最適なプランをご提案。ジオマテックの技術者からの提案はもちろん、必要に応じてさまざまなメーカーと協業し、お客さまにご満足いただける製品づくりをサポートします。
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Step3お見積もり
ヒアリング・技術打ち合わせで決定した仕様に基づき、お見積もりさせていただきます。
なお、お客さまからお伺いした製品の用途、お客さまの個人情報などの秘密情報につきましては、情報セキュリティに配慮したうえで厳重に管理いたします。 -
Step4試作品・サンプル作製
必要に応じて試作品・サンプルを作製いたします。
なお、将来的に量産を見据えている場合、試作時も量産時の装置を使用して加工できるので、量産移行後もスムーズに試作時と同様の製品特性を得ることができます。 -
Step5基板材料の調達
ガラスやフィルムなどの基板材料を、ジオマテックが長年培った信頼のサプライチェーンより調達します。
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Step6薄膜形成（薄膜コーティング）
基板材料へ防指紋（AF）加工など、お客さまの製品に必要な機能を実現するための高機能薄膜の形成を行います。
クラス100～1000（Fed.Std.209D）のクリーンルーム内で、高品質かつ安定的な生産が可能です。 -
Step7加工
ガラスの外形切断や薄膜パターニング、額縁印刷などの薄膜形成の後工程の作業も承ります。
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Step8品質検査・出荷準備
お客さまにご提供する全ての製品に対し品質検査を行い、厳重に梱包のうえ出荷します。
ジオマテックは、QMS（ISO9001：品質マネジメントシステム）を取得しており、高品質な製品の安定供給の維持に努めております。 -
Step9納品
お客さまのご指定の日、場所及び方法でしっかりお届けします。
※上記の流れ以外の対応や、お客さまの拠点内でのインハウス対応などのご相談も柔軟に承ります。
